Resumen Técnico
En la industria de los semiconductores, el Agua Ultrapura (UPW) es vital para el proceso de fabricación. A medida que los nodos de los transistores se reducen, los requisitos de pureza del UPW alcanzan los límites teóricos de la química del agua.
El Tren de Tratamiento UPW
Un sistema típico de UPW consta de tres etapas: Pretratamiento, Primaria y Pulido. La etapa final de pulido es la más crítica, utilizando intercambio iónico de lecho mixto de grado nuclear, oxidación UV y filtración ultrafina para eliminar los últimos vestigios de partículas.
Contaminantes Emergentes
Los sistemas estándar son efectivos para eliminar iones, pero especies neutras como el Boro y la Urea presentan desafíos. El boro requiere resinas de intercambio iónico especializadas, mientras que la urea se gestiona mediante reactores enzimáticos o configuraciones avanzadas de RO.