01 何が起きたか

8月19日のWater Magazineインタビューは、FTD Solutionsがimecの持続可能な半導体研究プログラムに参加する取り組みを紹介した。産業用水、化学モデル、PFAS削減、水循環、net-zeroが主要テーマ。協業自体は2026年の早い時期に発表されており、今日の記事は統合モデルの考え方に焦点を当てている。

02 主なポイント

  • 01 プロセス決定と水・排水モデルを接続。
  • 02 PFASは上流代替、下流処理、またはハイブリッドで評価。
  • 03 水循環は単一再利用率ではなくシステム問題。

03 なぜ重要か

重要なのは製造プロセスとFacility Waterの人工的な境界をなくすことである。

リソグラフィ、洗浄、リンスでの薬品選択は、排水組成、PFAS負荷、再利用可能性、後段処理負荷を直接決める。

04 ATLASのエンジニアリング視点

PFASでは、最小TCOが上流代替、下流捕捉、あるいは両者の組合せになる可能性がある。水循環も単なる再利用率ではなく、UPW需要、Reject Recovery、分流、RO/AIX負荷、エネルギー、残渣を統合評価すべきである。モデルの価値は、どこで除去・回収し、どこから処理が非経済になるかを早期に判断することにある。

05 出典