01 发生了什么

Water Magazine 8 月 19 日发布的访谈讨论了 FTD Solutions 参与 imec 可持续半导体研究项目的工作。合作重点包括工业水管理、化学建模、PFAS 减排、水循环以及 net-zero 运营。合作本身在 2026 年更早时候已经公布；今天的文章主要聚焦如何利用整体模型把半导体制造技术与厂务水、废水系统连接起来。

02 关键要点

  • 01 研究把半导体工艺决策与水、废水和化学品系统建模连接起来。
  • 02 PFAS 管理被视为上游替代、下游处理或两者组合的系统决策。
  • 03 水循环不再只是一个回用率指标，而是系统级物料、能量与风险核算问题。

03 为什么重要

这项工作的核心价值，是打破“制造工艺”和“厂务水系统”之间人为划出的边界。

半导体 Fab 中，光刻、清洗和漂洗阶段的化学品选择，会直接决定废水组成、PFAS 负荷、回用潜力以及后端处理规模。如果工艺模型和水务模型彼此独立，很多系统级 trade-off 根本看不出来。

04 ATLAS 工程视角

PFAS 就是典型例子。最低 TCO 的方案可能是上游替代，也可能是下游捕集，或者两者结合。水循环同样不能只用一个 reuse percentage 来衡量；UPW 需求、RO reject recovery、分质排水、AIX/RO 负荷、能耗和残余物处置都必须一起算。数字建模真正的价值不是做更漂亮的 dashboard，而是更早决定哪些污染物应该在工艺端消除，哪些水应该回收，以及从哪个点开始继续处理已经不经济。

05 来源